はい
https://xtech.nikkei.com/atcl/nxt/column/18/00001/09416/
引用元: ・信越化学、基板に半導体同士の配線を埋め込む新技術を開発 フォトレジストが不要に [323057825]
信越化学工業は半導体パッケージ基板の配線などに向けた製造装置を開発した。
チップレット(半導体チップ)同士の接続に使うインターポーザー(中間基板)の機能をパッケージ基板に組み込むことができ、パッケージ基板上で直接チップレット間の接続が可能になる。
パッケージ基板製造におけるフォトレジスト工程も不要にできるため、コスト低減につながる。
開発した装置は、半導体製造の前工程で利用される「デュアルダマシン法」をパッケージ基板の製造に応用した。
デュアルダマシン法は金属配線を作成する技術で、絶縁層に溝(配線)や穴(ビア)を形成し、そこに金属材料を埋め込み研磨して溝内に金属だけを残す。
配線とビアを同時に作成できるメリットがある。
現在主流の配線形成法はフォトレジストを使うSAP(セミアディティブプロセス)法と呼ばれるもので、今回の手法はこれに比べて微細な加工ができるという。
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